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研磨面平工作面平面度测量的不确定度

标签:镁铝轻型平尺|镁铝直角尺|镁铝刀口尺
测量原理
非接触式技术光波干涉法,与一已知平面(参考平面)比较法测量。
测量方法
采用等倾干涉法。在等倾干涉仪中用210mm长平晶与200mm的研磨面平尺整段比较测量或与330mm的硬座面平尺分段比较测量,得到的测量值修正长平晶工作面平面度后,按最小条件计算得到研磨面平尺工作面的平面度。
测量程序
1. 用平面等倾干涉仪(装置)测量研磨面平尺平面度。
2. 210mm长平晶做标准器。
3. 等倾干涉仪做比较使用
4. 两个1mm量块研合在长平晶两端做支撑用
5. 研磨面平尺放置在检定室内温度平衡时间不少于10h
6. 长平晶与研磨面平尺放置在食品内的温度平衡时间,对于200mm研磨面平尺和210mm长平晶不少于1h,对于330mm研磨面平尺和210mm长平晶不少1.5h。
测量条件
1.平面等倾干涉仪(装置)经检定符合JJG661-2004《平面等倾干涉仪检定规程》要求。
2.210mm长平晶的规程符合JJG28-2000《平晶检定规程》要求。
3.210mm长平晶工作面平面度符合JJG28-2000《平晶检定规程》要求,且具有修正自重变形影响后平面度数据证书。
4.经检定两块1mm量块的尺寸差小于0.1um。
5.检定室温度:(20±5)度,温度变化不得超过0.1C/H 和1C/24H
6.检定室内的温度与食品保温箱内的温度之关小于0.2度。
7.测温仪的分辨力:0.01度。
8.长平晶的制造材料费是k9光学玻璃,研磨面平尺是钢制的。
9.操作人员是经过培训的,且熟悉平面等倾干涉仪(装置)的使用。
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